Sputtering Target Powder Metallurgy Services

Pulvermetallurgi spiller en afgørende rolle i fremstillingen af sputtermål og kan opfylde højpræcisions- og højkvalitetsbehandlingskravene for sputtermål i forskellige industrier.

Pulver Metallurgi Sputtering Target Producent

Forstøvende mål er et nøglemateriale, der er meget udbredt inden for mange højteknologiske områder, såsom halvledere, fladskærme og solceller. Deres kvalitet og ydeevne påvirker direkte kvaliteten og ydeevnen af det endelige produkt. Pulvermetallurgiteknologi spiller en stadig vigtigere rolle i fremstillingen af sputtermål med dets unikke fordele. Wstitanium har sat et fremragende industribenchmark inden for sputtering-målfremstilling med sin dybe tekniske akkumulering og kontinuerlige innovation inden for pulvermetallurgi. Vi fokuserer på at levere skræddersyede sputtermålsløsninger af høj kvalitet til kunder over hele verden.

Hvad er pulvermetallurgi?

Pulvermetallurgi er en procesteknologi, der anvender pulver (en blanding af metal eller keramik og ikke-metalpulver) som råmateriale, gennem støbning og sintring, til at fremstille forskellige typer sputtermål af metal, keramiske og kompositmaterialer. Dets grundlæggende princip er at bruge det mekaniske bid og atomdiffusion mellem pulverpartikler til at kombinere pulverpartikler ved en temperatur under smeltepunktet for at danne et sputtermål med en bestemt form, størrelse og ydeevne.

Ethvert metal eller keramik, der kan laves til pulver, kan bruges som råmateriale. Almindeligt anvendte pulverfremstillingsteknikker omfatter mekanisk knusning, forstøvning, reduktion osv. Forskellige fremstillingsmetoder vil påvirke pulverets partikelstørrelse, form, renhed og aktivitet.

Pulvere af forskellige komponenter blandes jævnt i et vist forhold for at sikre ensartetheden af sputtermålsammensætningen. Blandingsprocessen kan udføres ved mekanisk omrøring, kugleformaling osv.

Tryk på det blandede pulver for at danne et emne med den ønskede form. Almindelig formning omfatter kompressionsstøbning, isostatisk presning, sprøjtestøbning osv. Valget af formningsproces afhænger af målets form, størrelse og præcisionskrav.

Opvarm emnet til en vis temperatur under beskyttende gas for at forårsage atomdiffusion og metallurgisk binding mellem partikler for at øge dens tæthed og styrke. Sintring har en afgørende indflydelse på den endelige præstation af målet.

I henhold til kravene specificeret på tegningen behandles det sintrede sputteringsmål yderligere, såsom CNC-bearbejdning, slibning, boring, varmebehandling, overfladebehandling osv., for at opnå den endelige ydeevne og dimensionsnøjagtighed.

Ved hjælp af spektroskopi, massespektrometri, røntgenfluorescensspektroskopi og andre teknologier testes målets kemiske sammensætning nøjagtigt for at sikre, at målets renhed og sammensætning opfylder kravene.

Wstitanium kompressionsformningsevner

Komprimeringsformning er en nøgleproces for at give sputtermålet dens oprindelige form. Gennem specifikke støbeforme og trykpåføring kan råmaterialepulvere såsom metaller og keramik forarbejdes til den ønskede form, såsom flade, firkantede, cylindriske, uregelmæssige osv. Flade mål, der bruges til fremstilling af flade skærme, skal formes præcist til flade former med stort område og høj præcision ved hjælp af kompressionsstøbning. Hvis formafvigelsen i kompressionsleddet er vanskelig at korrigere i den efterfølgende proces, vil det direkte påvirke tilpasningsevnen af målet i sputterudstyret og ensartetheden af belægningen. WSTITANIUN har tre teknologier til komprimeringsformning af sputtermål.

Kompressionsstøbning

Kompressionsstøbning er en af de almindelige støbeprocesser, der bruges af WSTITANIUN til fremstilling af sputtermål. Vi har investeret i avanceret kompressionsstøbeudstyr, der præcist kan styre parametre som pressetryk, hastighed og holdetid. Under kompressionsstøbningsprocessen anbringes det forbehandlede pulver i en form med en bestemt form, og der påføres tryk på formen gennem en presse for at komprimere pulveret i formen. For nogle mål med enkle former og små størrelser kan kompressionsstøbning effektivt producere emner af høj kvalitet. For at forbedre emnets tæthed og ensartethed bruger virksomheden også teknologier som tovejskompression og multipel kompression og tilføjer en passende mængde smøremiddel til pulveret for at reducere friktionen mellem pulveret og formen og sikre mere ensartet tryktransmission.

Sprøjtestøbning

Til sputtering af mål med komplekse former er sprøjtestøbning en ideel støbeproces. Først blandes metal eller keramisk pulver fuldstændigt med en passende mængde bindemiddel for at lave et injektionsmateriale med god flydende virkning. Kvaliteten og stabiliteten af injektionsmaterialet sikres ved at optimere bindemiddelformlen og blandingsprocessen. Derefter opvarmes indsprøjtningsmaterialet til en passende temperatur i indsprøjtningsmaskinen for at give det god fluiditet, og indsprøjtningsmaterialet sprøjtes ind i formhulrummet ved høj hastighed gennem sprøjtemaskinens skrue eller stempel. Under injektionsprocessen styres injektionstrykket, hastigheden, temperaturen og andre parametre præcist for at sikre, at injektionsmaterialet jævnt fylder formhulrummet for at danne et højpræcisionsemne. Råemnet efter sprøjtestøbning udsættes for efterfølgende behandlinger såsom affedtning og sintring for at opnå det endelige målprodukt.

Isostatisk presning

Isostatisk presning er en nøgleproces for WSTITANIUN til fremstilling af store og komplekse sputtermål. Kold isostatisk presning er at fylde pulveret i en elastisk form, forsegle det og lægge det i en højtryksbeholder og påføre jævnt tryk gennem et flydende medium (såsom vand, olie osv.), så pulveret komprimeres og dannes af det samme tryk i alle retninger. Varm isostatisk presning er at lægge pulveret eller det grønne legeme i en forseglet pakke og lægge det i det varme isostatiske presseudstyr under høj temperatur og højtryksmiljø, så pulveret ikke kun komprimeres, men også sintres til en vis grad, hvilket væsentligt forbedrer densiteten og styrken af den grønne krop. Under den isostatiske presseproces er det nødvendigt strengt at kontrollere parametre som tryk, temperatur og holdetid for at sikre stabiliteten og konsistensen af støbekvaliteten.

– Kold isostatisk presseudstyr: WSTITANIUN har en række kold isostatisk presningsudstyr med forskellige specifikationer, med et trykområde på sædvanligvis mellem 50MPa og 300MPa, som kan give ensartet og stabilt tryk for at komprimere pulveret. Dette udstyr anvender avanceret højtryksbeholderdesign og tætningsteknologi for at sikre sikkerhed og pålidelighed under højtryksmiljø. Udstyret er udstyret med et højpræcisions trykkontrolsystem, som nøjagtigt kan justere trykstørrelsen og holdetiden, og trykstyringsnøjagtigheden kan nå ±0.5 MPa. Samtidig har det kolde isostatiske presseudstyr et automatisk læsse- og aflæsningssystem for at forbedre produktionseffektiviteten og reducere de fejl, der kan være forårsaget af manuel drift.

– Varmt isostatisk presseudstyr: Varmt isostatisk presningsudstyr er et af nøgleudstyret for WSTITANIUN til fremstilling af højtydende sputtermål. Udstyret kan behandle pulvere eller emner under høj temperatur (op til 2000 ℃) og højtryk (op til 200 MPa) miljø for yderligere at forbedre tætheden, styrken og den omfattende ydeevne af målet. Det varme isostatiske presseudstyr vedtager avancerede varmesystemer, såsom grafitmodstandsopvarmning, molybdæntrådopvarmning osv., som kan opnå hurtig opvarmning og præcis temperaturkontrol, og temperaturstyringens nøjagtighed kan nå ±5 ℃. Tryksystemet anvender avanceret hydraulisk drivteknologi og kan stabilt levere det nødvendige tryk.

Pulvermetallurgiske materialer

Fysisk dampaflejring har strenge krav til renhed, tæthed, mikrostruktur og formnøjagtighed af sputtermål. Forskellige typer mål bruges på forskellige områder på grund af deres unikke fysiske og kemiske egenskaber. Almindelige målmaterialer omfatter rene metalmål (3N, 3N5, 4N, 4N5, 5N, 6N osv.), keramiske mål, legeringsmål og sjældne jordarter. WSTITANIUNs materialeforskere har et dybt teoretisk fundament inden for materialevidenskab og kan give dig skræddersyede sputtermålløsninger. I henhold til kravene fra forskellige anvendelsesområder til udførelse af sputtermål er materialesammensætningen præcist designet.