Servicios de metalurgia de polvos de objetivos de pulverización catódica
La pulvimetalurgia desempeña un papel vital en la fabricación de objetivos de pulverización catódica y puede satisfacer los requisitos de procesamiento de alta precisión y alta calidad de los objetivos de pulverización catódica en diferentes industrias.
- Tolerancia: +/- 0.005 mm
- Certificación ISO 9001: 2016
- Dimensiones: 2 mm-400 mm
- Blanco de pulverización de cerámica
- Blanco de pulverización catódica de metal puro
Taller de Wstitanium
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Fabricante de objetivos de pulverización catódica para pulvimetalurgia
Blancos de pulverización Son un material clave ampliamente utilizado en diversos campos de alta tecnología, como semiconductores, pantallas planas y células solares. Su calidad y rendimiento inciden directamente en la calidad y el rendimiento del producto final. La tecnología de pulvimetalurgia desempeña un papel cada vez más importante en la fabricación de blancos de pulverización catódica, gracias a sus ventajas únicas. Wstitanium ha establecido un excelente referente en la industria en la fabricación de blancos de pulverización catódica gracias a su profundo conocimiento técnico y su continua innovación en el campo de la pulvimetalurgia. Nos centramos en ofrecer soluciones de blancos de pulverización catódica personalizados y de alta calidad a clientes de todo el mundo.
¿Qué es la pulvimetalurgia?
La pulvimetalurgia es una tecnología de proceso que utiliza polvo (una mezcla de polvo metálico o cerámico y no metálico) como materia prima, mediante moldeo y sinterización, para fabricar diversos tipos de blancos de pulverización catódica de materiales metálicos, cerámicos y compuestos. Su principio básico consiste en utilizar la penetración mecánica y la difusión atómica entre partículas de polvo para combinarlas a una temperatura inferior al punto de fusión y formar un blanco de pulverización catódica con una forma, un tamaño y un rendimiento determinados.
- 1. Producción de polvo
Cualquier metal o cerámica que pueda pulverizarse puede utilizarse como materia prima. Las técnicas de preparación de polvo más comunes incluyen trituración mecánica, atomización, reducción, etc. Los diferentes métodos de preparación afectan el tamaño de partícula, la forma, la pureza y la actividad del polvo.
- 2. Mezcla de polvos
Los polvos de diferentes componentes se mezclan uniformemente en una proporción determinada para garantizar la uniformidad de la composición del blanco de pulverización catódica. El proceso de mezcla puede realizarse mediante agitación mecánica, molienda en molino de bolas, etc.
- 3. Formación de compactación
Aplique presión al polvo mezclado para formar una pieza en bruto con la forma deseada. Los procesos de conformado más comunes incluyen moldeo por compresión, prensado isostático, moldeo por inyección, etc. La elección del proceso de conformado depende de la forma, el tamaño y los requisitos de precisión del material.
- 4. Sinterización
Calentar la pieza en bruto a una temperatura determinada bajo gas protector provoca la difusión atómica y la unión metalúrgica entre partículas, aumentando así su densidad y resistencia. La sinterización influye decisivamente en el rendimiento final del blanco.
- 5 Refinamiento
De acuerdo con los requisitos especificados en el dibujo, el objetivo de pulverización catódica sinterizada se procesa aún más, como mecanizado CNC, rectificado, perforación, tratamiento térmico, tratamiento de superficie, etc., para obtener el rendimiento final y la precisión dimensional.
- 6 Inspeccion de calidad
Con la ayuda de la espectroscopia, espectrometría de masas, espectroscopia de fluorescencia de rayos X y otras tecnologías, se prueba con precisión la composición química del objetivo para garantizar que la pureza y la composición del objetivo cumplan con los requisitos.
Capacidades de conformado por compresión de titanio
El conformado por compactación es un proceso clave para dar al objetivo de pulverización catódica su forma inicial. Mediante moldes específicos y la aplicación de presión, se pueden procesar materias primas en polvo, como metales y cerámicas, para obtener la forma deseada, como plana, cuadrada, cilíndrica, irregular, etc. Los objetivos planos utilizados en la fabricación de pantallas planas deben moldearse con precisión mediante moldeo por compresión para obtener formas planas de gran superficie y alta precisión. Si la desviación de forma en el enlace de compresión es difícil de corregir en el proceso posterior, afectará directamente la adaptabilidad del objetivo en el equipo de pulverización catódica y la uniformidad del recubrimiento. WSTITANIUN cuenta con tres tecnologías para objetivos de pulverización catódica de conformado por compactación.
- Tamaño mínimo: 1×2×2 mm
- Tamaño máximo: 200 × 200 × 80 mm
- Espesor mínimo de pared: 0.4 mm
- Espesor máximo de pared: 80 mm
- Peso neto mínimo: 0.1 g
- Peso neto máximo: 750 g
- Referencia de diseño de precisión: tamaño de pieza del 0.1 %
- Tolerancia mínima: ± 0.02 mm
- MOQ rentable: 100 piezas
- Máxima eficiencia: 30 XNUMX unidades por día
Moldeo por compresión
El moldeo por compresión es uno de los procesos de moldeo más comunes que utiliza WSTITANIUN para fabricar blancos de pulverización catódica. Hemos invertido en equipos avanzados de moldeo por compresión que permiten controlar con precisión parámetros como la presión de prensado, la velocidad y el tiempo de mantenimiento. Durante el proceso de moldeo por compresión, el polvo pretratado se coloca en un molde con una forma específica y se aplica presión al molde mediante una prensa para compactarlo. Para algunos blancos con formas simples y tamaños pequeños, el moldeo por compresión permite producir eficientemente piezas en bruto de alta calidad. Para mejorar la densidad y la uniformidad de la pieza en bruto, la empresa también utiliza tecnologías como la compresión bidireccional y la compresión múltiple, y añade una cantidad adecuada de lubricante al polvo para reducir la fricción entre este y el molde y garantizar una transmisión de presión más uniforme.
Para la pulverización catódica de objetivos con formas complejas, el moldeo por inyección es el proceso ideal. Primero, se mezcla completamente el polvo metálico o cerámico con la cantidad adecuada de aglutinante para obtener un material de inyección con buena fluidez. La calidad y la estabilidad del material de inyección se garantizan optimizando la fórmula del aglutinante y el proceso de mezclado. A continuación, el material de inyección se calienta a la temperatura adecuada en la máquina de inyección para lograr una buena fluidez y se inyecta en la cavidad del molde a alta velocidad a través del tornillo o émbolo de la máquina. Durante el proceso de inyección, se controlan con precisión la presión, la velocidad, la temperatura y otros parámetros para garantizar que el material llene uniformemente la cavidad del molde y forme una pieza bruta de alta precisión. Tras el moldeo por inyección, la pieza bruta se somete a tratamientos posteriores, como el desengrasado y la sinterización, para obtener el producto final.
Prensado isostático
El prensado isostático es un proceso clave para que WSTITANIUN fabrique objetivos de pulverización catódica grandes y complejos. El prensado isostático en frío consiste en cargar el polvo en un molde elástico, sellarlo y colocarlo en un recipiente de alta presión, aplicando uniformemente presión a través de un medio líquido (como agua, aceite, etc.) para que el polvo se compacte y se forme con la misma presión en todas las direcciones. El prensado isostático en caliente consiste en colocar el polvo o cuerpo verde en un envase sellado y colocarlo en el equipo de prensado isostático en caliente bajo alta temperatura y presión, de modo que el polvo no solo se compacte, sino que también se sinterice hasta cierto punto, lo que mejora significativamente la densidad y la resistencia del cuerpo verde. Durante el proceso de prensado isostático, es necesario controlar estrictamente parámetros como la presión, la temperatura y el tiempo de mantenimiento para garantizar la estabilidad y la consistencia de la calidad del moldeo.
– Equipos de prensado isostático en fríoWSTITANIUN cuenta con diversos equipos de prensado isostático en frío de diferentes especificaciones, con un rango de presión que suele oscilar entre 50 MPa y 300 MPa, que proporcionan una presión uniforme y estable para compactar el polvo. Estos equipos incorporan un diseño avanzado de contenedores de alta presión y tecnología de sellado para garantizar la seguridad y la fiabilidad en entornos de alta presión. El equipo cuenta con un sistema de control de presión de alta precisión que ajusta con precisión la presión y el tiempo de mantenimiento, con una precisión de ±0.5 MPa. Asimismo, el equipo de prensado isostático en frío cuenta con un sistema automático de carga y descarga para mejorar la eficiencia de producción y reducir los errores que pueden producirse durante la operación manual.
– Equipo de prensado isostático en calienteEl equipo de prensado isostático en caliente es clave para que WSTITANIUN fabrique blancos de alto rendimiento para pulverización catódica. Este equipo puede procesar polvos o piezas en bruto en entornos de alta temperatura (hasta 2000 °C) y alta presión (hasta 200 MPa) para mejorar aún más la densidad, la resistencia y el rendimiento integral del blanco. El equipo de prensado isostático en caliente incorpora sistemas de calentamiento avanzados, como calentamiento por resistencia de grafito o calentamiento por alambre de molibdeno, que permiten un calentamiento rápido y un control preciso de la temperatura, con una precisión de hasta ±5 °C. El sistema de presión utiliza tecnología de accionamiento hidráulico avanzado y proporciona la presión requerida de forma estable.
Materiales de pulvimetalurgia
La deposición física de vapor (DFP) exige estrictos requisitos de pureza, densidad, microestructura y precisión de forma para los blancos de pulverización catódica. Se utilizan diferentes tipos de blancos en diferentes campos debido a sus propiedades físicas y químicas únicas. Los materiales más comunes incluyen blancos de metal puro (3N, 3N5, 4N, 4N5, 5N, 6N, etc.), blancos cerámicos, blancos de aleación y blancos de tierras raras. Los científicos de materiales de WSTITANIUN cuentan con una sólida base teórica en ciencia de materiales y pueden ofrecerle soluciones personalizadas para blancos de pulverización catódica. La composición del material se diseña con precisión según los requisitos de los diferentes campos de aplicación para el rendimiento de los blancos de pulverización catódica.
Blanco de pulverización catódica de metal puro
- Oro (Au)
- Plata (Ag)
- Níquel (Ni)
- El cobre (Cu)
- Titanio (Ti)
- Tungsteno (W)
- Aluminio (Al)
- Cromo (Cr)
- Rutenio (Ru)
- Molibdeno (Mo)
- Indio (en)
- Platino (pt)
- Hafnio (Hf)
- Vanadio (V)
- Niobio (Nb)
- Rodio (Rh)
- Tantalio (Ta)
- Zirconio (Zr)
- Paladio (Pd)
- Manganeso (Mn)
Objetivos de pulverización cerámicos
- Óxido de zinc (ZnO)
- Óxido de itrio (Y₂O₃)
- Nitruro de titanio (TiN)
- Óxido de indio y estaño (ITO)
- Dióxido de titanio (TiO₂)
- Nitruro de aluminio (AlN)
- Óxido de aluminio (Al₂O₃)
- Dióxido de circonio (ZrO₂)
- Óxido de magnesio (MgO)
- Titanato de bario (BaTiO₃)
- Sulfuro de zinc (ZnS)
- Nitruro de boro (BN)
- Carburo de silicio (SiC)
- Seleniuro de zinc (ZnSe)
- Óxido de cerio (CeO₂)
- Óxido de escandio (Sc₂O₃)
- Óxido de lantano (La₂O₃,
- Tantalato de litio (LiTaO₃)
- Telururo de cadmio (CdTe)
- Zirconato titanato de plomo (PZT)
Objetivo de pulverización catódica de aleación de tierras raras
- Óxido de cerio (CeO₂)
- Óxido de terbio (Tb₄O₇)
- Óxido de holmio (Ho₂O₃)
- Óxido de europio (Eu₂O₃)
- Óxido de samario (Sm₂O₃)
- Óxido de lantano (La₂O₃)
- Óxido de gadolinio (Gd₂O₃)
- Óxido de disprosio (D y₂O₃)
- Óxido de neodimio (Nd₂O₃)
- Óxido de praseodimio (Pr₆O₁₁)
- Itrio (Y)
- Aleación de NdFeB
- Escandio (Sc)
- Óxido de erbio (Er₂O₃)
- Óxido de tulio (Tm₂O₃)
- Óxido de lutecio (Lu₂O₃)
- Óxido de iterbio (Yb₂O₃)
- aleación de lantano-cerio
- aluminato de itrio dopado con terbio
- Óxido de itrio dopado con europio (Y₂O₃:Eu)
Blanco de pulverización de aleación
- Aleación de níquel-hierro (NiFe)
- Aleación de plata y cobre (AgCu)
- Aleación de níquel-vanadio (NiV)
- Aleación de aluminio y níquel (AlNi)
- Aleación de níquel-aluminio (NiAl)
- Aleación de tungsteno y titanio (WTi)
- Aleación de cromo-níquel (CrNi)
- Aleación de cobalto-cromo (CoCr)
- Aleación de tantalio-niobio (TaNb)
- Aleación de circonio y titanio (ZrTi)
- Aleación de hierro y cobalto (FeCo)
- Aleación de titanio y zinc (TiZn)
- Aleación de zinc y aluminio (ZnAl)
- Aleación de titanio y níquel (TiNi)
- Aleación de titanio y silicio (TiSi)
- Aleación de aluminio y silicio (AlSi)
- Aleación de níquel-cromo (NiCr)
- Aleación de cromo-silicio (CrSi)
- Aleación de titanio y aluminio (TiAl)
- Aleación de titanio y circonio (TiZr)
Galería de objetivos de pulverización catódica
