Sputterdoelpoedermetallurgiediensten

Poedermetallurgie speelt een essentiële rol bij de productie van sputtertargets en kan voldoen aan de hoge precisie en hoogwaardige verwerkingsvereisten van sputtertargets in verschillende industrieën.

Fabrikant van poedermetallurgie-sputterdoelen

Sputterende doelen Sputtertargets zijn een belangrijk materiaal dat veelvuldig wordt gebruikt in diverse hightech-toepassingen, zoals halfgeleiders, platte beeldschermen en zonnecellen. Hun kwaliteit en prestaties hebben een directe invloed op de kwaliteit en prestaties van het eindproduct. Poedermetallurgie speelt met zijn unieke voordelen een steeds belangrijkere rol in de productie van sputtertargets. Wstitanium Dankzij onze diepgaande technische expertise en continue innovatie op het gebied van poedermetallurgie hebben we een uitstekende industriële standaard gezet in de productie van sputtertargets. We richten ons op het leveren van hoogwaardige, op maat gemaakte sputtertargetoplossingen aan klanten over de hele wereld.

Wat is poedermetallurgie?

Poedermetallurgie is een procestechnologie waarbij poeder (een mengsel van metaal of keramiek en niet-metaalpoeder) als grondstof wordt gebruikt door middel van gieten en sinteren om diverse soorten sputtertargets van metaal, keramiek en composietmaterialen te vervaardigen. Het basisprincipe is het gebruik van de mechanische scherpte en atomaire diffusie tussen poederdeeltjes om poederdeeltjes bij een temperatuur onder het smeltpunt te combineren tot een sputtertarget met een bepaalde vorm, grootte en prestaties.

Elk metaal of keramiek dat tot poeder kan worden verwerkt, kan als grondstof worden gebruikt. Veelgebruikte technieken voor poederbereiding zijn onder andere mechanisch breken, atomiseren, reduceren, enz. Verschillende bereidingsmethoden hebben invloed op de deeltjesgrootte, vorm, zuiverheid en activiteit van het poeder.

Poeders van verschillende componenten worden gelijkmatig gemengd in een bepaalde verhouding om de uniformiteit van de sputtertargetsamenstelling te garanderen. Het mengproces kan worden uitgevoerd door mechanisch roeren, kogelmalen, enz.

Oefen druk uit op het gemengde poeder om een blanco in de gewenste vorm te vormen. Veelvoorkomende vormen zijn onder andere persen, isostatisch persen, spuitgieten, enz. De keuze van het vormproces hangt af van de vorm, grootte en precisie-eisen van het doel.

Verhit de blanco tot een bepaalde temperatuur onder beschermend gas om atomaire diffusie en metallurgische binding tussen de deeltjes te veroorzaken en zo de dichtheid en sterkte te verhogen. Sinteren heeft een beslissende invloed op de uiteindelijke prestaties van het doel.

Het gesinterde sputterdoel wordt volgens de in de tekening gespecificeerde eisen verder bewerkt, bijvoorbeeld door middel van CNC-bewerking, slijpen, boren, warmtebehandeling, oppervlaktebehandeling, enz. om de uiteindelijke prestatie en maatnauwkeurigheid te verkrijgen.

Met behulp van spectroscopie, massaspectrometrie, röntgenfluorescentiespectroscopie en andere technieken wordt de chemische samenstelling van het doelwit nauwkeurig getest om te garanderen dat de zuiverheid en samenstelling van het doelwit aan de eisen voldoen.

Mogelijkheden voor het vormen van titanium compressie

Compaction Forming is een belangrijk proces om het sputtertarget zijn oorspronkelijke vorm te geven. Door middel van specifieke mallen en druk kunnen grondstofpoeders zoals metalen en keramiek worden verwerkt tot de gewenste vorm, zoals vlak, vierkant, cilindrisch, onregelmatig, enz. Vlakke targets die worden gebruikt bij de productie van flat-panel displays moeten met behulp van persgieten nauwkeurig worden gevormd tot grote, zeer precieze platte vormen. Als de vormafwijking in de persverbinding in het vervolgproces moeilijk te corrigeren is, heeft dit direct invloed op de aanpasbaarheid van het target in de sputterapparatuur en de uniformiteit van de coating. WSTITANIUN beschikt over drie technologieën voor Compaction Forming sputtertargets.

Persvormen

Compressievormen is een van de meest voorkomende gietprocessen die WSTITANIUN gebruikt voor de productie van sputtertargets. We hebben geïnvesteerd in geavanceerde apparatuur voor compressievormen die parameters zoals persdruk, snelheid en houdtijd nauwkeurig kan regelen. Tijdens het compressievormen wordt het voorbehandelde poeder in een mal met een specifieke vorm geplaatst en wordt er via een pers druk op de mal uitgeoefend om het poeder in de mal te verdichten. Voor sommige targets met eenvoudige vormen en kleine afmetingen kan compressievormen efficiënt hoogwaardige blanks produceren. Om de dichtheid en uniformiteit van de blank te verbeteren, maakt het bedrijf ook gebruik van technologieën zoals tweewegcompressie en meervoudige compressie, en voegt het een geschikte hoeveelheid smeermiddel toe aan het poeder om de wrijving tussen het poeder en de mal te verminderen en een gelijkmatigere drukoverdracht te garanderen.

Injection Molding

Spuitgieten is een ideaal gietproces voor sputtertargets met complexe vormen. Eerst wordt metaal- of keramisch poeder volledig gemengd met een geschikte hoeveelheid bindmiddel om een injectiemateriaal met een goede vloeibaarheid te verkrijgen. De kwaliteit en stabiliteit van het injectiemateriaal worden gewaarborgd door de bindmiddelformule en het mengproces te optimaliseren. Vervolgens wordt het injectiemateriaal in de spuitgietmachine tot een geschikte temperatuur verhit om het een goede vloeibaarheid te geven, en wordt het met hoge snelheid in de matrijsholte geïnjecteerd via de schroef of plunjer van de spuitgietmachine. Tijdens het injectieproces worden de injectiedruk, snelheid, temperatuur en andere parameters nauwkeurig geregeld om ervoor te zorgen dat het injectiemateriaal de matrijsholte gelijkmatig vult en een zeer nauwkeurige blank vormt. Na het spuitgieten ondergaat de blank verdere behandelingen zoals ontvetten en sinteren om het uiteindelijke product te verkrijgen.

Isostatisch persen

Isostatisch persen is een belangrijk proces voor WSTITANIUN bij de productie van grote en complexe sputtertargets. Koud isostatisch persen houdt in dat het poeder in een elastische mal wordt geladen, wordt afgesloten en in een hogedrukvat wordt geplaatst. Vervolgens wordt er gelijkmatige druk uitgeoefend door een vloeibaar medium (zoals water, olie, enz.), zodat het poeder wordt samengeperst en in alle richtingen met dezelfde druk wordt gevormd. Heet isostatisch persen houdt in dat het poeder of de groene massa in een afgesloten verpakking wordt geplaatst en in de hete isostatische persapparatuur wordt geplaatst onder hoge temperatuur en druk. Hierdoor wordt het poeder niet alleen samengeperst, maar ook tot op zekere hoogte gesinterd, wat de dichtheid en sterkte van de groene massa aanzienlijk verbetert. Tijdens het isostatisch persen is het noodzakelijk om parameters zoals druk, temperatuur en houdtijd strikt te controleren om de stabiliteit en consistentie van de gietkwaliteit te garanderen.

– Apparatuur voor koud isostatisch persenWSTITANIUN beschikt over een aantal koudisostatische persmachines met verschillende specificaties, met een drukbereik van doorgaans 50 tot 300 MPa. Deze machines kunnen een uniforme en stabiele druk leveren om het poeder te verdichten. Deze machines maken gebruik van een geavanceerd ontwerp met hogedrukcontainers en afdichtingstechnologie om veiligheid en betrouwbaarheid in een omgeving met hoge druk te garanderen. De apparatuur is uitgerust met een uiterst nauwkeurig drukregelsysteem dat de druk en de houdtijd nauwkeurig kan instellen. De nauwkeurigheid van de drukregeling kan oplopen tot ±0.5 MPa. Tegelijkertijd beschikt de koudisostatische persmachine over een automatisch laad- en lossysteem om de productie-efficiëntie te verbeteren en fouten te verminderen die kunnen worden veroorzaakt door handmatige bediening.

– Apparatuur voor hete isostatische persing: Apparatuur voor hete isostatisch persen is een van de belangrijkste apparatuur voor WSTITANIUN voor de productie van hoogwaardige sputtertargets. De apparatuur kan poeders of blanks verwerken onder hoge temperaturen (tot 2000 ℃) en hoge druk (tot 200 MPa) om de dichtheid, sterkte en algehele prestaties van het target verder te verbeteren. De apparatuur voor hete isostatisch persen maakt gebruik van geavanceerde verwarmingssystemen, zoals grafietweerstandverwarming, molybdeendraadverwarming, enz., die snelle verwarming en nauwkeurige temperatuurregeling mogelijk maken, met een nauwkeurigheid van ±5 ℃. Het druksysteem maakt gebruik van geavanceerde hydraulische aandrijftechnologie en kan stabiel de vereiste druk leveren.

Poedermetallurgische materialen

Fysische dampdepositie stelt strenge eisen aan de zuiverheid, dichtheid, microstructuur en vormnauwkeurigheid van sputtertargets. Verschillende soorten targets worden in verschillende vakgebieden gebruikt vanwege hun unieke fysische en chemische eigenschappen. Veelvoorkomende targetmaterialen zijn onder andere targets van zuiver metaal (3N, 3N5, 4N, 4N5, 5N, 6N, enz.), keramische targets, targets van legeringen en targets van zeldzame aardmetalen. De materiaalkundigen van WSTITANIUN hebben een diepgaande theoretische basis in materiaalkunde en kunnen u sputtertargetoplossingen op maat bieden. De materiaalsamenstelling wordt nauwkeurig ontworpen, afgestemd op de eisen van verschillende toepassingsgebieden voor de prestaties van sputtertargets.