Sputtering Target Powder Metallurgy Services

Pulvermetallurgi spiller en viktig rolle i produksjonen av sputtermål og kan møte høypresisjons- og høykvalitetsbehandlingskravene til sputtermål i forskjellige bransjer.

Pulvermetallurgi Sputtering Target Produsent

Sputrende mål er et nøkkelmateriale som er mye brukt i mange høyteknologiske felt som halvledere, flatskjermer og solceller. Kvaliteten og ytelsen deres påvirker direkte kvaliteten og ytelsen til sluttproduktet. Pulvermetallurgiteknologi spiller en stadig viktigere rolle i produksjonen av sputteringsmål med sine unike fordeler. Wstitanium har satt en utmerket bransjestandard innen produksjon av sputtermål med sin dype tekniske akkumulering og kontinuerlige innovasjon innen pulvermetallurgi. Vi fokuserer på å tilby kunder over hele verden skreddersydde sputtermålløsninger av høy kvalitet.

Hva er pulvermetallurgi?

Pulvermetallurgi er en prosessteknologi som bruker pulver (en blanding av metall eller keramikk og ikke-metallpulver) som råmateriale, gjennom støping og sintring, for å produsere ulike typer sputtering-mål av metall, keramikk og komposittmaterialer. Dets grunnleggende prinsipp er å bruke den mekaniske biten og atomdiffusjonen mellom pulverpartikler for å kombinere pulverpartikler ved en temperatur under smeltepunktet for å danne et sputteringsmål med en viss form, størrelse og ytelse.

Ethvert metall eller keramikk som kan gjøres til pulver kan brukes som råmateriale. Vanlige pulverfremstillingsteknikker inkluderer mekanisk knusing, forstøvning, reduksjon, etc. Ulike prepareringsmetoder vil påvirke partikkelstørrelsen, formen, renheten og aktiviteten til pulveret.

Pulvere av forskjellige komponenter blandes jevnt i en viss andel for å sikre ensartethet av sputtermålsammensetningen. Blandeprosessen kan utføres ved mekanisk omrøring, kulefresing, etc.

Legg press på det blandede pulveret for å danne et emne med ønsket form. Vanlig forming inkluderer kompresjonsstøping, isostatisk pressing, sprøytestøping, etc. Valget av formingsprosess avhenger av formen, størrelsen og presisjonskravene til målet.

Varm opp emnet til en viss temperatur under beskyttende gass for å forårsake atomdiffusjon og metallurgisk binding mellom partikler for å øke densiteten og styrken. Sintring har en avgjørende innflytelse på den endelige ytelsen til målet.

I henhold til kravene spesifisert på tegningen, behandles det sintrede sputtermålet videre, for eksempel CNC-maskinering, sliping, boring, varmebehandling, overflatebehandling, etc., for å oppnå den endelige ytelsen og dimensjonsnøyaktigheten.

Ved hjelp av spektroskopi, massespektrometri, røntgenfluorescensspektroskopi og andre teknologier blir den kjemiske sammensetningen av målet nøyaktig testet for å sikre at renheten og sammensetningen til målet oppfyller kravene.

Wstitanium kompresjonsformingsevner

Komprimeringsforming er en nøkkelprosess for å gi sputtermålet dens opprinnelige form. Gjennom spesifikke former og trykkpåføring kan råstoffpulver som metaller og keramikk bearbeides til ønsket form, slik som flate, firkantede, sylindriske, uregelmessige osv. Flate mål som brukes i produksjonen av flatskjermer, må formes nøyaktig til store flate former med høy presisjon ved hjelp av kompresjonsstøping. Hvis formavviket i kompresjonsleddet er vanskelig å korrigere i den påfølgende prosessen, vil det direkte påvirke tilpasningsevnen til målet i sputterutstyret og jevnheten til belegget. WSTITANIUN har tre teknologier for komprimeringsforming av sputtermål.

Kompresjonsstøping

Kompresjonsstøping er en av de vanlige støpeprosessene som brukes av WSTITANIUN for å produsere sprutmål. Vi har investert i avansert pressstøpeutstyr som nøyaktig kan kontrollere parametere som pressetrykk, hastighet og holdetid. Under kompresjonsstøpeprosessen plasseres det forbehandlede pulveret i en form med en bestemt form, og trykk påføres formen gjennom en presse for å komprimere pulveret i formen. For noen mål med enkle former og små størrelser kan kompresjonsstøping effektivt produsere emner av høy kvalitet. For å forbedre tettheten og jevnheten til emnet, bruker selskapet også teknologier som toveis kompresjon og multippel komprimering, og tilsetter en passende mengde smøremiddel til pulveret for å redusere friksjonen mellom pulveret og formen og sikre mer jevn trykkoverføring.

Sprøytestøping

For sputtering av mål med komplekse former er sprøytestøping en ideell støpeprosess. Først blandes metall eller keramisk pulver fullstendig med en passende mengde bindemiddel for å lage et injeksjonsmateriale med god flyt. Kvaliteten og stabiliteten til injeksjonsmaterialet sikres ved å optimalisere bindemiddelformelen og blandeprosessen. Deretter varmes injeksjonsmaterialet opp til en passende temperatur i injeksjonsmaskinen for å gi det god flyt, og injeksjonsmaterialet injiseres inn i formhulrommet med høy hastighet gjennom skruen eller stempelet til injeksjonsmaskinen. Under injeksjonsprosessen blir injeksjonstrykket, hastigheten, temperaturen og andre parametere nøyaktig kontrollert for å sikre at injeksjonsmaterialet jevnt fyller formhulen for å danne et høypresisjonsemne. Emnet etter sprøytestøping utsettes for påfølgende behandlinger som avfetting og sintring for å oppnå det endelige målproduktet.

Isostatisk pressing

Isostatisk pressing er en nøkkelprosess for WSTITANIUN for å produsere store og komplekse sputtermål. Kald isostatisk pressing er å legge pulveret i en elastisk form, forsegle det og legge det i en høytrykksbeholder, og jevnt påføre trykk gjennom et flytende medium (som vann, olje osv.) slik at pulveret komprimeres og dannes av samme trykk i alle retninger. Varm isostatisk pressing er å legge pulveret eller det grønne legemet i en forseglet pakke og legge det inn i det varme isostatiske presseutstyret under høy temperatur og høytrykksmiljø, slik at pulveret ikke bare blir komprimert, men også sintret til en viss grad, noe som betydelig forbedrer tettheten og styrken til den grønne kroppen. Under den isostatiske presseprosessen er det nødvendig å strengt kontrollere parametere som trykk, temperatur og holdetid for å sikre stabiliteten og konsistensen til støpekvaliteten.

– Kaldt isostatisk pressutstyr: WSTITANIUN har en rekke kald isostatisk presseutstyr med forskjellige spesifikasjoner, med et trykkområde på vanligvis mellom 50MPa og 300MPa, som kan gi jevnt og stabilt trykk for å komprimere pulveret. Dette utstyret tar i bruk avansert høytrykksbeholderdesign og forseglingsteknologi for å sikre sikkerhet og pålitelighet under høytrykksmiljø. Utstyret er utstyrt med et trykkkontrollsystem med høy presisjon, som nøyaktig kan justere trykkstørrelsen og holdetiden, og trykkkontrollnøyaktigheten kan nå ±0.5 MPa. Samtidig har det kalde isostatiske presseutstyret et automatisk laste- og lossesystem for å forbedre produksjonseffektiviteten og redusere feilene som kan være forårsaket av manuell drift.

– Varmt isostatisk pressutstyr: Varmt isostatisk pressutstyr er et av nøkkelutstyret for WSTITANIUN for å produsere høyytelses sputtermål. Utstyret kan behandle pulver eller emner under høy temperatur (opptil 2000 ℃) og høyt trykk (opptil 200 MPa) miljø for ytterligere å forbedre tettheten, styrken og den omfattende ytelsen til målet. Det varme isostatiske pressutstyret tar i bruk avanserte varmesystemer, for eksempel grafittmotstandsoppvarming, molybdentrådoppvarming, etc., som kan oppnå rask oppvarming og presis temperaturkontroll, og temperaturkontrollnøyaktigheten kan nå ±5 ℃. Trykksystemet tar i bruk avansert hydraulisk drivteknologi og kan stabilt gi det nødvendige trykket.

Pulvermetallurgiske materialer

Fysisk dampavsetning har strenge krav til renhet, tetthet, mikrostruktur og formnøyaktighet for sputteringsmål. Ulike typer mål brukes i forskjellige felt på grunn av deres unike fysiske og kjemiske egenskaper. Vanlige målmaterialer inkluderer rene metallmål (3N, 3N5, 4N, 4N5, 5N, 6N, etc.), keramiske mål, legeringsmål og sjeldne jordmål. WSTITANIUNs materialforskere har et dypt teoretisk fundament innen materialvitenskap og kan gi deg tilpassede sputtermålsløsninger. I henhold til kravene til forskjellige bruksområder for utførelse av sputtermål, er materialsammensetningen nøyaktig utformet.