Titanium og sputtering Target varmebehandling
Wstitanium er en kinesisk leverandør av titan- og sputtermålsvarmebehandlingsløsninger, dedikert til å gi deg one-stop-tjenester fra materialanalyse, prosessdesign, varmebehandling til kvalitetsinspeksjon.
- gløding
- Løsningsbehandling
- Termomekanisk
- Varmpressende Sintring
- Vakuumsintring
- Isostatisk presssintring
Wstitanium verksted
Våre kraftige fasiliteter
Titanium og sputtering mål varmebehandling
Wstitanium fokuserer ikke bare på produksjon av titan og sputteringsmål, men stoler også på sine enestående fordeler innen varmebehandling for å bli kjernekraften for å fremme ytelsen til disse produktene og møte behovene til avanserte applikasjoner. Wstitanium har et diversifisert varmebehandlingsteknologisystem. For titan dekker det en rekke prosesser som gløding, løsningsbehandling og aldring, og termomekanisk behandling. For sputtering av mål, varmpressing, vakuumsintring, isostatisk pressing, gløding, løsningsaldring og andre teknologier.
Titanium varmebehandling
Grunnen til at titan trenger varmebehandling er hovedsakelig for å forbedre organisasjonsstrukturen, og dermed forbedre mekaniske egenskaper, forbedre korrosjonsmotstanden, forbedre mekaniske egenskaper og eliminere gjenværende stress. Titan presenterer to forskjellige krystallstrukturer ved forskjellige temperaturer. Fra romtemperatur til 882 °C eksisterer titan i en sekskantet tettpakket struktur (hcp), kalt α-fasen. Denne strukturen gir titan en viss styrke og god plastisitet. Når temperaturen overstiger 882°C, gjennomgår titan en allotropisk transformasjon og forvandles til en kroppssentrert kubisk struktur (bcc), nemlig β-fasen. Atomarrangementet til β-fasen er forskjellig fra α-fasen, noe som gjør at titan har bedre plastisitet og lavere deformasjonsmotstand ved høye temperaturer, noe som bidrar til varmbearbeiding og forming. Denne allotrope transformasjonen er et viktig grunnlag for titan varmebehandling, og den gjør det mulig å endre organiseringen og egenskapene til titan gjennom varmebehandling.
Forbedring av organisasjonsstruktur
Ved støping kan de innledende titankornene være grove og ujevne. Etter varmebehandling, slik som oppvarming og avkjøling i α-faseregionen eller α+β-faseregionen, kan kornene raffineres. Raffinerte korn kan gjøre ytelsen til titan mer enhetlig i alle retninger, og gir et godt organisatorisk grunnlag for påfølgende mekanisk bearbeiding.
Juster fasesammensetningen
Titan har to krystallstrukturer, α-fase og β-fase, og andelen og fordelingen av ulike faser har stor innflytelse på ytelsen. For eksempel kan titanlegeringer som brukes i romfartsfeltet oppnå høy styrke og god seighet ved å justere andelen α-fase og β-fase gjennom varmebehandling.
Forbedre styrken
Gjennom varmebehandlingsprosesser som bråkjøling og aldring, kan utfellingsfaser introduseres i titanlegeringer eller styrkende effekter i fast løsning kan produseres, og dermed forbedre styrken til titan. For eksempel, etter løsningsbehandling og aldring, kan styrken til Ti-6Al-4V titanlegering forbedres betydelig, og oppfyller brukskravene til nøkkelkomponenter som flymotorblader i miljøer med høy belastning.
Forbedre seighet
Bare høy styrke kan øke titans sprøhet, mens varmebehandling kan forbedre materialets seighet og øke styrken. For eksempel kan undertemperaturkjøling eller dobbel varmebehandling av enkelte titanlegeringer danne en rimelig fasefordeling ved korngrensen og innenfor kornet, slik at materialet har høy styrke samtidig som det opprettholder god seighet og utmattelsesmotstand.
Forbedre freseytelsen
For titandeler som må CNC-bearbeides, kan kutteytelsen forbedres ved å justere organisasjonsstrukturen og hardheten gjennom passende varmebehandling. For eksempel kan sfæroidiserende gløding sfæroidisere andre fasepartiklene i titanlegeringer, redusere verktøyslitasje under skjæring og forbedre prosesseringseffektiviteten og prosesskvaliteten.
Eliminer gjenværende stress
Titan vil uunngåelig produsere restspenning under prosess- og produksjonsprosessen, slik som smiing, sveising, maskinering, etc. Tilstedeværelsen av restspenning kan forårsake deformasjon eller til og med sprekkdannelse av deler under bruk. Gjennom varmebehandlingsprosesser som avspenningsgløding, kan atomene inne i titan diffundere og omorganisere, redusere gjenværende spenning og forbedre dimensjonsstabiliteten og påliteligheten til delene.
Varmebehandling av sprutmål
Sputrende mål refererer til målmaterialer bombardert av ionestråler under sputtering-beleggingsprosessen, hvis atomer sputteres til overflaten av substratet under påvirkning av ioner for å danne en tynn film. I henhold til den kjemiske sammensetningen kan sputtermål deles inn i metallmål (som kobbermål, aluminiummål, titanmål, etc.), legeringsmål (som kobberindiumgalliumselenidmål brukt i solcellefeltet), keramiske mål (som indiumtinnoksyd ITO-mål som brukes i måldisplaypaneler) og sammensatte mål på displaypaneler (sink) filmer). Mål som har gjennomgått kaldbearbeiding (som valsing, smiing, CNC-bearbeiding, etc.) har et stort antall dislokasjoner og gitterforvrengninger inne, som lagrer høy forvrengningsenergi. Varmebehandling er en nøkkelprosess for effektivt å regulere organiseringen og ytelsen til sputteringsmål, og spiller en uerstattelig rolle i å forbedre tettheten, ensartetheten, renheten og sputteringsegenskapene til målene.
Forbedre hardhet og styrke
Sputtering-mål må ha en viss hardhet og styrke for å motstå kreftene som ionebombardement under sputtering. Varmebehandling kan gjøre atomene inne i målet mer ryddige og danne en mer stabil krystallstruktur, og dermed øke hardheten og styrke.
Eliminer interne defekter
Det vil uunngåelig være noen defekter inne i målet, som porer, mikrosprekker, dislokasjoner osv. Gjennom varmebehandling forsterkes diffusjonsevnen til atomer, noe som kan omorganisere dislokasjoner, og dermed redusere eller eliminere disse indre defektene og forbedre tettheten og jevnheten til målet.
Forbedre overflatekvaliteten
Varmebehandling kan gjøre overflaten til målet mer flat og glatt, og redusere urenheter og oksidlag på overflaten. En flat og glatt overflate kan forbedre ensartetheten til sputtering og unngå situasjonen der den lokale sputteringshastigheten er for høy eller for lav under sputterprosessen, og dermed sikre jevnheten og kvaliteten til den avsatte filmen.
Eliminer gjenværende stress
Restspenning vil bli generert i målet under produksjonsprosessen, noe som kan forårsake deformasjon og sprekkdannelse av målet under lagring eller bruk. Prosesser som avspenningsgløding under varmebehandling kan effektivt eliminere gjenværende spenning og forbedre dimensjonsstabiliteten og strukturelle stabiliteten til målmaterialet.
Wstitanium Titanium varmebehandlingsevner
Wstitanium fortsetter å introdusere avansert varmebehandlingsutstyr og testinstrumenter, som dekker flere avanserte varmebehandlingsverksteder, og tiltrekker seg en gruppe utmerkede materialingeniører og tekniske arbeidere til å bli med. Teammedlemmene inkluderer fagfolk innen mange felt som materialfysikk, materialkjemi og varmebehandlingsteknologi. De har mange års arbeidserfaring innen varmebehandling av titan og sputtermål.
Titanium varmebehandlingstjeneste
gløding
Wstitanium tilbyr en rekke utglødningstjenester som full gløding, ufullstendig gløding og spenningsavlastende gløding. I hele utglødningsprosessen blir oppvarmingstemperaturen nøyaktig kontrollert til å være 30-50 ℃ høyere enn β-transformasjonstemperaturen (Tβ). Holdetiden bestemmes av nøyaktig beregning i henhold til karakteristikkene av titanlegeringskvalitet og arbeidsstykkestørrelse for å sikre at legeringselementene er fullstendig diffusert. Deretter avkjøles den sakte med ovnen for å oppnå en jevn likeakset α + β-struktur, som effektivt eliminerer arbeidsherding, forbedrer plastisiteten og seigheten til materialet og forbedrer prosessytelsen.
For ufullstendig gløding er oppvarmingstemperaturen strengt kontrollert i α + β-faseområdet, lavere enn Tβ, vanligvis mellom 700-850 ℃, og luftkjøling eller ovnskjøling etter holding kan ikke bare eliminere noe stress, men også beholde en viss herdeeffekt, som oppfyller behovene til spesifikke omfattende krav til styrke og plastisitet. Spenningsavlastningsgløding utføres ved et lavere temperaturområde på 450-650 ℃, og luftkjøling utføres etter 1-3 timers varmekonservering, noe som effektivt eliminerer restspenningen som genereres av titanlegeringen under bearbeiding, forhindrer deformasjon og sprekkdannelse av deler, og forbedrer dimensjonsstabiliteten.
Løsningsbehandling og aldring
For titanlegeringer av α + β-type er den vanligvis 10-100 ℃ under Tβ; for β-type titanlegeringer er den over Tβ. Holdetiden er strengt beregnet for å sikre at legeringselementene er fullstendig oppløst i matrisen, og deretter brukes en hurtig avkjølingsmetode (som quenching) for å oppnå en overmettet fast løsning. Velg en passende aldringstemperatur innenfor temperaturområdet 450-650 ℃, og holdetiden varierer fra 4 til 24 timer, slik at de oppløste atomene utfelles fra den faste løsningen for å danne en finspredt utfellingsfase, noe som forbedrer styrken og hardheten til legeringen betydelig, samtidig som god plastisitet og seighet opprettholdes.
Termomekanisk behandling
Wstitanium tilbyr avanserte termomekaniske behandlingstjenester som isotermisk smiing og multi-pass prosessering. Under den isotermiske smiingsprosessen blir titanlegeringsblokken smidd ved en spesifikk temperatur i α + β-faseregionen med en nøyaktig kontrollert lav tøyningshastighet, slik at materialet gjennomgår dynamisk omkrystallisering under deformasjonsprosessen, og derved oppnår en jevn og fin likeakset struktur, noe som i stor grad forbedrer styrken, plastisiteten og trettheten til materialet som brukes i høye deler og produksjonen. titanlegeringsskiver for flymotorer.
Multi-pass prosessering bruker nøye utformede multiple valsing, smiing og andre prosesseringsmetoder for å deformere i forskjellige temperaturområder, og kombinert med passende mellomglødingsbehandling, gradvis foredle kornene, forbedre den omfattende ytelsen til materialet, og oppfylle ytelseskravene til forskjellige kunder for titanlegeringsplater, stenger og andre produkter.
Sputtering Target Heat Treatment Service
Sintringsbehandling
For sputtering av mål av forskjellige materialer, tilbyr Wstitanium en rekke sintringsbehandlingstjenester som varmpressende sintring, vakuumsintring og isostatisk presssintring. Under varmpressende sintring blir målpulveret plassert i en spesiell form og sintret under nøyaktig kontrollert temperatur og trykk. Temperaturen er generelt innstilt mellom 0.6 og 0.8 ganger smeltepunktet til målmaterialet, og trykket er nøyaktig justert innenfor området 10-100MPa i henhold til målmaterialet og den nødvendige ytelsen, noe som effektivt fremmer kontakten og diffusjonen mellom pulverpartikler, hemmer kornvekst og oppnår finkornet høy tetthet, finkornet preparat med høy kvalitet, som brukes i høykvalitets preparater med høy kvalitet. mål osv.
Vakuumsintring
Vakuumsintring sinter målpulveret i et høyvakuummiljø (vakuumgraden er generelt nødvendig å være mellom 10⁻³ og 10⁻⁵Pa), og unngår effektivt oksidasjon og forurensning av urenheter, og forbedrer renheten til målet. Sintringstemperaturen er nøyaktig innstilt i henhold til sammensetningen av målmaterialet. For eksempel er vakuumsintringstemperaturen til kobbermål generelt 800-1000 ℃, noe som sikrer at målmaterialet fortettes ved høy temperatur og oppfyller de strenge kravene til mål med høy renhet, for eksempel produksjon av halvlederbrikker.
Isostatisk presssintring
Isostatisk pressing sintring inkluderer kald isostatisk pressing (CIP) og varm isostatisk pressing (HIP). Kald isostatisk pressing er å fylle målpulveret i en elastisk form og bruke et flytende medium i en høytrykksbeholder for å påføre jevnt trykk slik at pulveret komprimeres i alle retninger under samme trykk; varm isostatisk pressing realiserer samtidig komprimerings- og sintringsprosessen under høy temperatur og høyt trykk, og kan forberede mål med komplekse former og jevn tetthet, noe som er spesielt egnet for klargjøring av store mål, for eksempel store molybdenmål som brukes innen flatpanelskjermer.
gløding
For å eliminere arbeidsherdingen og restspenningen som genereres under produksjonsprosessen for sputteringsmål, tilbyr Wstitanium rekrystalliseringsgløding og spenningsavlastende glødingstjenester. Rekrystalliseringsgløding varmer målet til 100-200 ℃ over rekrystalliseringstemperaturen. Holdetiden beregnes nøyaktig i henhold til målstørrelsen og varmeutstyret, vanligvis 1-3 timer, og avkjøles deretter sakte for effektivt å eliminere arbeidsherding, gjenopprette plastisiteten, omorganisere kornene og forbedre ledningsevnen og plastisiteten til målet. Den er egnet for metallmål som har blitt behandlet ved rulling.
Avspenningsutglødningsoppvarmingstemperaturen er generelt lavere enn rekrystalliseringstemperaturen, mellom 200-600 ℃. Etter å ha holdt i 1-2 timer, er den luftkjølt eller ovnskjølt. Den eliminerer effektivt restspenningen som genereres under behandlingen, monteringen eller bruken av målet, og forbedrer målstabiliteten og påliteligheten til målet. Det er spesielt viktig for materialer som keramiske mål som er utsatt for restspenninger under bearbeiding.
Konklusjon
Innenfor titan og sputtering target-produksjon har Wstitanium kontinuerlig forbedret produktytelse og kvalitet med sine enestående fordeler innen varmebehandling, og gir støtte til mange avanserte industrier. I fremtiden vil vi fortsette å lede med teknologisk innovasjon og være orientert mot dine behov, kontinuerlig utvide våre forretningsområder, styrke vår bransjeinnflytelse og gi større bidrag til å fremme utviklingen av materialvitenskap og produksjon.