Serviços de metalurgia do pó alvo de pulverização catódica

A metalurgia do pó desempenha um papel vital na fabricação de alvos de pulverização catódica e pode atender aos requisitos de processamento de alta precisão e alta qualidade de alvos de pulverização catódica em diferentes indústrias.

Fabricante de alvos para pulverização catódica de metalurgia do pó

Alvos de pulverização catódica Os alvos de pulverização catódica são um material fundamental amplamente utilizado em diversos campos de alta tecnologia, como semicondutores, telas planas e células solares. Sua qualidade e desempenho afetam diretamente a qualidade e o desempenho do produto final. A tecnologia de metalurgia do pó desempenha um papel cada vez mais importante na fabricação de alvos de pulverização catódica, graças às suas vantagens exclusivas. Titânio Com sua vasta experiência técnica e inovação contínua na área de metalurgia do pó, a empresa estabeleceu um excelente padrão de excelência no setor de fabricação de alvos de pulverização catódica. Nosso foco é fornecer soluções de alvos de pulverização catódica personalizadas e de alta qualidade para clientes em todo o mundo.

O que é Metalurgia do Pó?

A metalurgia do pó é uma tecnologia de processo que utiliza pó (uma mistura de pó metálico ou cerâmico e não metálico) como matéria-prima, por meio de moldagem e sinterização, para fabricar diversos tipos de alvos de pulverização catódica de metal, cerâmica e materiais compósitos. Seu princípio básico é utilizar a mordida mecânica e a difusão atômica entre as partículas de pó para combinar partículas de pó a uma temperatura abaixo do ponto de fusão, formando um alvo de pulverização catódica com formato, tamanho e desempenho específicos.

Qualquer metal ou cerâmica que possa ser transformado em pó pode ser usado como matéria-prima. As técnicas de preparação de pó comumente utilizadas incluem britagem mecânica, atomização, redução, etc. Diferentes métodos de preparação afetarão o tamanho das partículas, a forma, a pureza e a atividade do pó.

Pós de diferentes componentes são misturados uniformemente em uma determinada proporção para garantir a uniformidade da composição alvo da pulverização catódica. O processo de mistura pode ser realizado por agitação mecânica, moinho de bolas, etc.

Aplique pressão ao pó misturado para formar uma peça bruta com o formato desejado. Os processos de conformação mais comuns incluem moldagem por compressão, prensagem isostática, moldagem por injeção, etc. A escolha do processo de conformação depende do formato, tamanho e requisitos de precisão do alvo.

Aqueça o blank a uma determinada temperatura sob gás protetor para causar difusão atômica e ligação metalúrgica entre as partículas, aumentando sua densidade e resistência. A sinterização tem uma influência decisiva no desempenho final do alvo.

De acordo com os requisitos especificados no desenho, o alvo de pulverização catódica sinterizado é processado posteriormente, como usinagem CNC, retificação, perfuração, tratamento térmico, tratamento de superfície, etc., para obter o desempenho final e a precisão dimensional.

Com a ajuda de espectroscopia, espectrometria de massa, espectroscopia de fluorescência de raios X e outras tecnologias, a composição química do alvo é testada com precisão para garantir que a pureza e a composição do alvo atendam aos requisitos.

Capacidades de conformação por compressão de titânio

A conformação por compactação é um processo fundamental para dar ao alvo de pulverização catódica sua forma inicial. Por meio de moldes específicos e aplicação de pressão, pós de matérias-primas, como metais e cerâmicas, podem ser processados no formato desejado, como plano, quadrado, cilíndrico, irregular, etc. Alvos planos utilizados na fabricação de displays planos precisam ser moldados com precisão em formas planas de grande área e alta precisão com o auxílio da moldagem por compressão. Se o desvio de forma na ligação de compressão for difícil de corrigir no processo subsequente, isso afetará diretamente a adaptabilidade do alvo no equipamento de pulverização catódica e a uniformidade do revestimento. A WSTITANIUN possui três tecnologias para conformação por compactação de alvos de pulverização catódica.

Moldagem por compressão

A moldagem por compressão é um dos processos de moldagem mais comuns utilizados pela WSTITANIUN na fabricação de alvos de pulverização catódica. Investimos em equipamentos avançados de moldagem por compressão que permitem controlar com precisão parâmetros como pressão de prensagem, velocidade e tempo de retenção. Durante o processo de moldagem por compressão, o pó pré-tratado é colocado em um molde com formato específico, e a pressão é aplicada ao molde por meio de uma prensa para compactar o pó. Para alguns alvos com formatos simples e tamanhos reduzidos, a moldagem por compressão pode produzir blanks de alta qualidade com eficiência. Para melhorar a densidade e a uniformidade do blank, a empresa também utiliza tecnologias como compressão bidirecional e compressão múltipla, e adiciona uma quantidade adequada de lubrificante ao pó para reduzir o atrito entre o pó e o molde e garantir uma transmissão de pressão mais uniforme.

Moldagem por Injeção

Para alvos de pulverização catódica com formas complexas, a moldagem por injeção é um processo de moldagem ideal. Primeiro, o pó metálico ou cerâmico é totalmente misturado com uma quantidade apropriada de ligante para formar um material de injeção com boa fluidez. A qualidade e a estabilidade do material de injeção são garantidas pela otimização da fórmula do ligante e do processo de mistura. Em seguida, o material de injeção é aquecido a uma temperatura apropriada na máquina de injeção para lhe conferir boa fluidez, e o material de injeção é injetado na cavidade do molde em alta velocidade através do parafuso ou êmbolo da máquina de injeção. Durante o processo de injeção, a pressão, a velocidade, a temperatura e outros parâmetros são controlados com precisão para garantir que o material de injeção preencha uniformemente a cavidade do molde para formar um blank de alta precisão. O blank após a moldagem por injeção é submetido a tratamentos subsequentes, como desengorduramento e sinterização, para obter o produto alvo final.

Prensagem isostática

A prensagem isostática é um processo fundamental para a WSTITANIUN na fabricação de alvos de pulverização catódica de grande porte e alta complexidade. A prensagem isostática a frio consiste em carregar o pó em um molde elástico, selá-lo e colocá-lo em um recipiente de alta pressão, aplicando pressão uniforme através de um meio líquido (como água, óleo, etc.) para que o pó seja compactado e moldado sob a mesma pressão em todas as direções. A prensagem isostática a quente consiste em colocar o pó ou o corpo verde em uma embalagem selada e colocá-lo no equipamento de prensagem isostática a quente sob alta temperatura e pressão, de modo que o pó não seja apenas compactado, mas também sinterizado até certo ponto, o que melhora significativamente a densidade e a resistência do corpo verde. Durante o processo de prensagem isostática, é necessário controlar rigorosamente parâmetros como pressão, temperatura e tempo de retenção para garantir a estabilidade e a consistência da qualidade da moldagem.

– Equipamento de prensagem isostática a frioA WSTITANIUN possui diversos equipamentos de prensagem isostática a frio com diferentes especificações, com uma faixa de pressão geralmente entre 50 MPa e 300 MPa, que proporcionam uma pressão uniforme e estável para compactar o pó. Esses equipamentos adotam um design avançado de recipiente de alta pressão e tecnologia de vedação para garantir segurança e confiabilidade em ambientes de alta pressão. O equipamento é equipado com um sistema de controle de pressão de alta precisão, que pode ajustar com precisão a pressão e o tempo de retenção, com precisão de até ± 0.5 MPa. Além disso, o equipamento de prensagem isostática a frio possui um sistema automático de carga e descarga para melhorar a eficiência da produção e reduzir os erros que podem ser causados pela operação manual.

– Equipamento de prensagem isostática a quente: O equipamento de prensagem isostática a quente é um dos principais equipamentos da WSTITANIUN para a fabricação de alvos de pulverização catódica de alto desempenho. O equipamento pode processar pós ou blanks em ambientes de alta temperatura (até 2000°C) e alta pressão (até 200MPa) para melhorar ainda mais a densidade, a resistência e o desempenho geral do alvo. O equipamento de prensagem isostática a quente adota sistemas de aquecimento avançados, como aquecimento por resistência de grafite, aquecimento por fio de molibdênio, etc., que podem alcançar aquecimento rápido e controle preciso da temperatura, com precisão de até ±5°C. O sistema de pressão adota tecnologia avançada de acionamento hidráulico e pode fornecer a pressão necessária de forma estável.

Materiais para Metalurgia do Pó

A deposição física de vapor impõe requisitos rigorosos quanto à pureza, densidade, microestrutura e precisão da forma dos alvos de pulverização catódica. Diferentes tipos de alvos são utilizados em diferentes áreas devido às suas propriedades físicas e químicas únicas. Os materiais de alvo comuns incluem alvos de metal puro (3N, 3N5, 4N, 4N5, 5N, 6N, etc.), alvos cerâmicos, alvos de liga e alvos de terras raras. Os cientistas de materiais da WSTITANIUN possuem uma sólida formação teórica em ciência dos materiais e podem fornecer soluções personalizadas para alvos de pulverização catódica. A composição do material é projetada com precisão de acordo com os requisitos de diferentes campos de aplicação para o desempenho dos alvos de pulverização catódica.